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有孔曲面电极及其加工方法

发明专利无效专利

申请号：
CN98800465.8
IPC分类号：--
申请日期：
1998-04-08
申请人：
休斯电子公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	有孔曲面电极及其加工方法
申请号	CN98800465.8	申请日期	1998-04-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1999-07-14	公开/公告号	CN1222981
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	休斯电子公司	申请人地址	美国加利福尼亚变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	休斯电子公司	当前权利人	休斯电子公司
发明人	约汉·R·比迪
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王以平

摘要

本发明用一种新的加工方法来提高曲面电极上的孔眼位置精度。在该方法中，形成曲面电极的变形步骤在形成光致抗蚀剂图模的处理步骤之前，因此不存在变形处理步骤在空间位置上改变光致抗蚀剂图模的问题。对于使用用本方法加工的曲面电极的离子推进器，所述位置精度的提高可以改善其性能，延长其使用寿命。

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