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对激光诱导正向转移喷射角度的控制

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680040497.7
  • IPC分类号:C23C14/28;C23C14/54;B23K26/57;B23K26/064;B23K26/067
  • 申请日期:
    2016-06-07
  • 申请人:
    奥博泰克有限公司
著录项信息
专利名称对激光诱导正向转移喷射角度的控制
申请号CN201680040497.7申请日期2016-06-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-03-27公开/公告号CN107849687A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/28IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;B;2;3;K;2;6;/;5;7;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;4;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;7查看分类表>
申请人奥博泰克有限公司申请人地址
以色列亚夫内 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人奥博泰克有限公司当前权利人奥博泰克有限公司
发明人M.泽诺;Z.科特勒
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人王冉
摘要
一种用于受体表面上的材料沉积的设备,其包括透明供体基底,所述供体基底具有相反的第一表面和第二表面,且所述设备包括在所述第二表面上的供体薄膜。所述设备还包括光学组件,其配置为引导辐射的射束穿过所述供体基底的第一表面并在所述第二表面上的位置处冲击在所述供体薄膜上,以便诱导熔化材料的液滴在所述位置处以不垂直于所述第二表面的角度从所述供体薄膜喷射到所述受体表面上。

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