一种半导体自动测量装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120951019.X
IPC分类号：G01B21/22
申请日期：
2021-05-06
申请人：
海太半导体（无锡）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种半导体自动测量装置
申请号	CN202120951019.X	申请日期	2021-05-06
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕 G01B21/22 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;2;2查看分类表>
申请人	海太半导体（无锡）有限公司	申请人地址	江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	海太半导体（无锡）有限公司	当前权利人	海太半导体（无锡）有限公司
发明人	张伟
代理机构	无锡市朗高知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本实用新型提供一种半导体自动测量装置，包括样品台和测量结构，样品台顶部设有固定结构，测量结构包括支架，支架为L型，支架的底部通过移动导轨结构进行移动，支架侧壁设有控制面板，支架的顶部横梁下方设有电机，电机通过螺栓与支架固定连接，电机的输出轴顶端设有测量装置；本实用新型通过不移动样品，而改成测量装置的多角度变化，使测量结果更准确，同时避免了人工翻转移动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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