基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110523291.2
IPC分类号：G01N21/41
申请日期：
2021-05-13
申请人：
山东大学

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著录项信息

专利名称	基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法
申请号	CN202110523291.2	申请日期	2021-05-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-24	公开/公告号	CN113295647A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/41 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/41 折射率；影响相位的性质，例如光程长度（G01N 21/21优先）〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;4;1查看分类表>
申请人	山东大学	申请人地址	山东省济南市高新区舜华路1500号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东大学	当前权利人	山东大学
发明人	时彦朋;李美坪;刘笑宇;宋金梅
代理机构	济南圣达知识产权代理有限公司	代理人	张庆骞

摘要

本发明属于太赫兹亚波长结构传感技术领域，提供了一种基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法。其中，基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件包括衬底和波导传感单元，波导传感单元设置在衬底上，波导传感单元包括波导、矩形谐振腔及金属墙，所述矩形谐振腔以垂直于波导的方向直接连接在波导一侧，所述金属墙设置在矩形谐振腔一侧设定距离处的波导介质中，所述金属墙的中心设有孔径；所述矩形谐振腔的方向与电场偏振方向保持平行，波导的输入端用于接收太赫兹波，以使得太赫兹波在传输过程中满足共振条件时，产生Fano共振。其采用金属‑介质‑金属波导耦合谐振腔结构实现了尖锐的Fano共振、高Q因子、高灵敏度的折射率传感应用。

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