镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810645978.1
IPC分类号：H01J37/32;C23C16/44
申请日期：
2018-06-21
申请人：
北京蜃景光电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法
申请号	CN201810645978.1	申请日期	2018-06-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-13	公开/公告号	CN108807129A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人	北京蜃景光电科技有限公司	申请人地址	北京市海淀区中关村大街甲38号1号楼B座16层089号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京蜃景光电科技有限公司	当前权利人	北京蜃景光电科技有限公司
发明人	郭建利
代理机构	北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	崔振

摘要

本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，涉及有机镀膜技术领域，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行，缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题，实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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