一种新型研磨液搅拌装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810587467.9
IPC分类号：B01F7/18;B01F5/10;B01F7/00;B01F15/00
申请日期：
2018-06-08
申请人：
上海华力微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种新型研磨液搅拌装置
申请号	CN201810587467.9	申请日期	2018-06-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-14	公开/公告号	CN108993213A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F7/18 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01F 混合，例如，溶解、乳化、分散（混合颜料入B44D 3/06） B01F7/00 在固定容器内具有旋转搅拌装置的混合机；糅合机（B01F 13/04优先） B01F7/16 具有绕一个垂直轴旋转的搅拌器的 B01F7/18 带桨翼或旋臂的	IPC分类号	B;0;1;F;7;/;1;8;;;B;0;1;F;5;/;1;0;;;B;0;1;F;7;/;0;0;;;B;0;1;F;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	李虎;张守龙;赵正元
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	俞涤炯

摘要

本发明公开了一种新型研磨液搅拌装置，该装置包括搅拌桶和设置在搅拌桶内的搅拌装置、研磨液循环装置以及设置在搅拌桶外的液位检测器，所述搅拌桶的桶底向桶底内壁凹陷形成特殊桶底结构，所述搅拌装置包括搅拌电机和至少两组搅拌叶片，所述至少两组搅拌叶片为同心不同轴的套管式结构，与现有技术相比，本发明改进的特殊桶底结构，减少了在同等液位下的研磨液残留，另外本发明中多组搅拌叶片采用的同心不同轴的套管式结构，可以在不额外增加搅拌桶体积的情况下，扩展搅拌桶的功能，从而提升搅拌效率和自循环效率，大大增强了本发明的实用性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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