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抛光垫

发明专利无效专利

申请号：
CN96196447.2
IPC分类号：--
申请日期：
1996-08-20
申请人：
罗德尔公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抛光垫
申请号	CN96196447.2	申请日期	1996-08-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1998-09-23	公开/公告号	CN1193932
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	罗德尔公司	申请人地址	美国特拉华变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗德尔控股公司	当前权利人	罗德尔控股公司
发明人	约翰V·H·罗勃特斯
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	郑修哲

摘要

提供了一种用于抛光硅晶片用之机械的垫，当抛光晶片时，该垫可进行晶片表面状态之探测。这借由在不具有吸收或传送淤浆粒子能力之固态均匀聚合物片材上建构一完整或部分之垫，且其可为用光学方法探测晶片表面状态之光所通过来完成。适用于建构这种垫的聚合物系可为190至3500nm波长之光线所通过。

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