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碳纳米管薄膜的表面聚合物的去除方法及电子器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810992435.7
  • IPC分类号:B01J19/08;B01J3/00
  • 申请日期:
    2018-08-29
  • 申请人:
    北京大学
著录项信息
专利名称碳纳米管薄膜的表面聚合物的去除方法及电子器件
申请号CN201810992435.7申请日期2018-08-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-01-18公开/公告号CN109225094A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01J19/08IPC分类号B;0;1;J;1;9;/;0;8;;;B;0;1;J;3;/;0;0查看分类表>
申请人北京大学申请人地址
北京市海淀区颐和园路5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京大学当前权利人北京大学
发明人董立军;谢雨农;张志勇;彭练矛
代理机构北京鼎承知识产权代理有限公司代理人李伟波;孟奎
摘要
本公开提供了一种碳纳米管薄膜的表面聚合物的去除方法,包括:在碳纳米管薄膜形成后或在制备基于碳纳米管薄膜的电子器件的过程中,通过含氢等离子体与碳纳米管薄膜的表面的高分子聚合物反应,以去除碳纳米管薄膜的表面的高分子聚合物。

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