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镀膜装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010549489.X
  • IPC分类号:C23C14/50;C23C16/458
  • 申请日期:
    2010-11-18
  • 申请人:
    鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
著录项信息
专利名称镀膜装置
申请号CN201010549489.X申请日期2010-11-18
法律状态驳回申报国家暂无
公开/公告日2012-05-23公开/公告号CN102465275A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/50IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司当前权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人王仲培
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供一种镀膜装置,其包括一个镀膜伞架,所述镀膜伞架具有多个容置通孔,所述多个容置通孔用于容置待镀工件,所述镀膜装置还包括一个镀膜伞架遮罩及一个过滤板。所述镀膜伞架遮罩用于自该镀膜伞架顶部罩住该镀膜伞架。所述过滤板安装于该镀膜伞架底部,所述过滤板上形成有多个过滤孔,所述过滤孔用于透过气态或离子态的蒸镀材料,并阻挡杂质。所述镀膜伞架遮罩可防止待镀工件被污染。

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