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光敏复合介质栅MOSFET探测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910024504.6
  • IPC分类号:H01L21/8234;H01L27/14
  • 申请日期:
    2009-02-18
  • 申请人:
    南京大学;阎锋
著录项信息
专利名称光敏复合介质栅MOSFET探测器
申请号CN200910024504.6申请日期2009-02-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-08-18公开/公告号CN101807547A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8234
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;4;;;H;0;1;L;2;7;/;1;4查看分类表>
申请人南京大学;阎锋申请人地址
江苏省南京市汉口路22号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京大学,阎锋当前权利人南京大学,阎锋
发明人阎锋;张荣;施毅
代理机构南京天翼专利代理有限责任公司代理人汤志武;王鹏翔
摘要
光敏复合介质栅MOSFET探测器的设置方法,每个单元探测器的构成是:在基底P型半导体材料上方的两侧设有N型半导体区构成源极和漏极,基底正上方的分别设有二层绝缘介质材料和控制栅极,二层绝缘介质材料之间设有光电子存储层;与控制栅极接触的第二绝缘介质是是阻止光电子存储层中存储的电荷流失到栅极的材料,源漏极在搜集光电子和储存光电子到光电子储存层时均为悬空结构;第一绝缘介质即底层介质,采用氧化硅、SiON或其它高介电常数介质;第二绝缘介质层的材料即顶层介质,采用氧化硅/氮化硅/氧化硅、氧化硅、氧化铝或其它高介电常数介质材料;且基底层或栅极面至少有一处为对探测器探测波长透明或半透明的窗口。

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