一种平行度检测仪及其调节控制器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020542842.0
IPC分类号：G01B11/26;G02B7/198;G05D3/10
申请日期：
2020-04-14
申请人：
绵阳诺达佳工业控制技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种平行度检测仪及其调节控制器
申请号	CN202020542842.0	申请日期	2020-04-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/26 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;6;;;G;0;2;B;7;/;1;9;8;;;G;0;5;D;3;/;1;0查看分类表>
申请人	绵阳诺达佳工业控制技术有限公司	申请人地址	四川省绵阳市涪城区临园路东段54号1幢15-13号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	绵阳诺达佳工业控制技术有限公司	当前权利人	绵阳诺达佳工业控制技术有限公司
发明人	冯伟;戈小龙
代理机构	成都诚中致达专利代理有限公司	代理人	阮涛

摘要

本实用新型公开了一种平行度检测仪，包括：干涉仪，用于工件平行度检测时发射光束；置物台，用于放置标准工件；检测单元，用于放置待测工件，并使待测工件进行二维运动，包括横向运动机构，横向运动机构设有纵向运动机构，纵向运动机构设有调平组件，调平组件正上方设有反射组件，待测工件置于调平组件；控制柜，与干涉仪和检测单元连接，用于控制干涉仪与检测单元，使置于检测单元的待测工件进行二维运动，控制干涉仪的启闭状态；置物台设于干涉仪和检测单元之间。本实用新型方便待测工件的表面检测，方便进行载物台平整度的调整，方便进行反射镜的高度调整，提高了平行度的检测效率以及平行度的检测效果，具有较强的实用性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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