一种单晶碳晶纳米镀膜方法及反应器

发明专利有效专利

申请号：
CN201910207690.0
IPC分类号：C30B29/04;C30B25/00
申请日期：
2019-03-19
申请人：
苏州彩生新材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种单晶碳晶纳米镀膜方法及反应器
申请号	CN201910207690.0	申请日期	2019-03-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-17	公开/公告号	CN109763168A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/04 金刚石〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;4;;;C;3;0;B;2;5;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州彩生新材料有限公司	申请人地址	江苏省苏州市太仓市城厢镇郑和中路309号2幢502室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州彩生新材料有限公司	当前权利人	苏州彩生新材料有限公司
发明人	卢国东;陈密;顾风军;瞿如娟;黎川
代理机构	成都为知盾专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	李汉强;杨宜付

摘要

本发明公开了一种单晶碳晶纳米镀膜方法及反应器，其包括一面敞口的炉体和面板，所述面板安装在炉体的敞口面上整体形成封闭的反应器，所述炉体内设置有隔板，隔板一端安装在炉体内侧壁上，另一端设置为向上倾斜翘起，所述隔板上还设置有两挡板，两挡板之间形成基材放置区域；所述炉体的上端面设置有铜柱和进气口，下端面设置有铜柱和出气口，炉体的一侧壁上设置有进气口，另一个相对的侧壁上设置有激光口。本发明结构简单、操作方便、镀膜效率高，具有较好的市场推广价值和应用前景。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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