基于PN结电隔离和阳极键合技术的MEMS电容式气压传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201911195103.7
IPC分类号：G01L9/12;B81C3/00
申请日期：
2019-11-28
申请人：
北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司

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专利名称	基于PN结电隔离和阳极键合技术的MEMS电容式气压传感器
申请号	CN201911195103.7	申请日期	2019-11-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-21	公开/公告号	CN111044206A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L9/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L9/00 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L 15/00） G01L9/12 利用电容量变化的	IPC分类号	G;0;1;L;9;/;1;2;;;B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司	申请人地址	北京市丰台区北京市9200信箱74分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司	当前权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司
发明人	郭伟龙;焦海龙;杨挺;王晓宇;冯建;尹玉刚;金小锋
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	张辉

摘要

本发明公开了基于PN结电隔离和阳极键合技术的MEMS电容式气压传感器，包括气压敏感膜、玻璃基片和玻璃盖板；气压敏感膜的一面与玻璃基片阳极键合形成真空参考腔，气压敏感膜的另一面与玻璃盖板阳极键合形成开放式气体感压腔，外部气压施加在气压敏感膜上，与真空参考腔形成压差使气压敏感膜变形，继而改变了气压敏感膜与玻璃基片之间电容极板间距，使电容值发生变化而反应外界气压大小。本发明同时公开了MEMS电容式气压传感器的加工工艺。本发明电容式气压传感器加工工艺简单，成品率高，商业化效果好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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