一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610921265.4
IPC分类号：B25J9/16;B25J13/08
申请日期：
2016-10-21
申请人：
北京七星华创电子股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法
申请号	CN201610921265.4	申请日期	2016-10-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-01-11	公开/公告号	CN106313053A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J9/16 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J9/00 程序控制机械手 B25J9/16 程序控制（全面生产控制，即集中控制多台机器入G05B 19/418）〔4〕	IPC分类号	B;2;5;J;9;/;1;6;;;B;2;5;J;1;3;/;0;8查看分类表>
申请人	北京七星华创电子股份有限公司	申请人地址	北京市经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	王凯;穆晓航;钟结实;张云鹏
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	陶金龙;张磊

摘要

本发明公开了一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法，通过在传片机械手上设置振动传感器芯片采集传片机械手的抓手与硅片碰撞时产生的振动频率，能够有效地采集到碰撞产生的微小冲击力，并能及时传递碰撞信号，通过机械手控制器对振动频率数据进行记录与分析，当振动频率超过设定的碰撞报警阈值时，可通过急停控制回路产生急停控制，并触发传片机械手各轴电机驱动器的紧急制动，使传片机械手停止运动，实现碰撞报警与紧急制动之间的硬互锁，从而实现传片机械手的急停控制。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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