沉积碳纳米管薄膜的设备

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专利名称	沉积碳纳米管薄膜的设备
申请号	CN200510100356.3	申请日期	2005-10-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-04-18	公开/公告号	CN1947860
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司	当前权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人	林孟东
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种沉积碳纳米管薄膜的设备，其包括一支撑装置，多个卡扣在支撑装置上的喷射装置及多个分别与喷射装置相连通的输送管。所述支撑装置包括一第一支撑件、一第二支撑件及一扣紧装置。所述沉积碳纳米管的装置具有可同时大面积成膜，成膜快速，成本低廉的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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