一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202210853059.X
IPC分类号：B24B29/02;B24B27/033;B24B19/22;B24B51/00;B24B49/00;B24B1/00;B23K26/362
申请日期：
2022-07-20
申请人：
华侨大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法
申请号	CN202210853059.X	申请日期	2022-07-20
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2022-10-25	公开/公告号	CN115229647A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B29/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B29/00 有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置（使用砂带磨削或抛光入B24B 21/00）〔4〕 B24B29/02 适用于特殊工件的〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;2;7;/;0;3;3;;;B;2;4;B;1;9;/;2;2;;;B;2;4;B;5;1;/;0;0;;;B;2;4;B;4;9;/;0;0;;;B;2;4;B;1;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;2查看分类表>
申请人	华侨大学	申请人地址	福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华侨大学	当前权利人	华侨大学
发明人	陆静;李晨;辛永康;王嘉炜;罗求发;柯聪明;温秋玲
代理机构	厦门市首创君合专利事务所有限公司	代理人	吴晓梅

摘要

本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点提高加工效率，提高加工质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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