一种晶体生长炉复投送料装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202211315528.9
IPC分类号：C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06
申请日期：
2022-10-26
申请人：
浙江求是半导体设备有限公司

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专利名称	一种晶体生长炉复投送料装置
申请号	CN202211315528.9	申请日期	2022-10-26
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-22	公开/公告号	CN115369477A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/02 向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;2;;;C;3;0;B;1;5;/;2;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	浙江求是半导体设备有限公司	申请人地址	浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江求是半导体设备有限公司	当前权利人	浙江求是半导体设备有限公司
发明人	曹建伟;朱亮;傅林坚;张俊;叶钢飞;倪军夫;李玉刚
代理机构	杭州钤韬知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	赵杰香

摘要

本发明公开了一种晶体生长炉复投送料装置，送料装置包括第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将硅料输送至晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动送料机构；晶体生长炉包括坩埚，坩埚用于接收送料机构输送的硅料，硅料能够在坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时送料机构停止投料第一料仓的重量小于等于第一预设重量、坩埚的重量大于等于第二预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；送料机构包括用于输送硅料的螺旋轴，当送料机构停止投料后，螺旋轴反向旋转，以使硅料向远离晶体生长炉的方向输送。通过上述设置，可以防止送料机构发生黏料。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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