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MEMS元件和具有MEMS元件的移动设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811627059.8
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2018-12-28
  • 申请人:
    英飞凌科技股份有限公司
著录项信息
专利名称MEMS元件和具有MEMS元件的移动设备
申请号CN201811627059.8申请日期2018-12-28
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2019-07-12公开/公告号CN110012392A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人英飞凌科技股份有限公司申请人地址
德国诺伊比贝尔格 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英飞凌科技股份有限公司当前权利人英飞凌科技股份有限公司
发明人C·布雷特豪尔;P·A·布雷格·劳滨·托雷斯·亚马拉尔;C·格拉策
代理机构北京市金杜律师事务所代理人郑立柱;张鹏
摘要
本公开涉及MEMS元件、具有MEMS元件的设备以及移动设备。该MEMS元件包括:MEMS声变换器和电路装置,所述MEMS声变换器具有膜片结构和对应的对电极结构,所述电路装置与MEMS声变换器电耦合,并且所述电路装置还被构造用于:在MEMS声变换器的在音频频率范围内的第一运行模式中,基于由声学声压改变量引起膜片结构相对于对电极结构的偏移来检测MEMS声变换器的音频输出信号,并且在MEMS声变换器110的在超声波频率范围内的第二运行模式中,作为超声波发射接收器来控制并且读取MEMS声变换器。

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