用于晶圆测试的测试系统异常中断恢复方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202111014452.1
IPC分类号：G01R31/28
申请日期：
2021-08-31
申请人：
浙江确安科技有限公司

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专利名称	用于晶圆测试的测试系统异常中断恢复方法及装置
申请号	CN202111014452.1	申请日期	2021-08-31
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-30	公开/公告号	CN113721130A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	浙江确安科技有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路6号8幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江确安科技有限公司	当前权利人	浙江确安科技有限公司
发明人	阚紫为;杨颖超;李鹏宇
代理机构	北京轻创知识产权代理有限公司	代理人	陈晓斌

摘要

本发明公开了一种用于晶圆测试的测试系统异常中断恢复方法及装置，涉及芯片制造领域。该方法包括：当测试系统异常中断后，从测试机中读取已存储的晶圆信息，从晶圆信息中提取已测试的晶圆测试结果；根据晶圆测试结果对空白测试结果图进行修改，得到部分测试结果图；通过探针台调取部分测试结果图，根据部分测试结果图对晶圆未测试的部分进行测试，得到完整测试结果图。本发明适用于晶圆测试系统异常中断后的测试恢复，能够使探针台根据部分晶圆map图继续进行晶圆剩余部分的测试，不需要对已经测试过的区域再次进行测试，从而减少了不能复测产品的报废，减少针痕增多后良率降低的风险，提高良率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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