抛光装置

发明专利无效专利

申请号：
CN99106240.X
IPC分类号：--
申请日期：
1999-04-10
申请人：
日本电气株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抛光装置
申请号	CN99106240.X	申请日期	1999-04-10
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	1999-11-24	公开/公告号	CN1236184
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本电气株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	瑞萨电子株式会社	当前权利人	瑞萨电子株式会社
发明人	曾田阳子;宇都满义
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	林长安

摘要

一种抛光装置包括抛光垫、衬底固定器和固定环。抛光垫粘附到抛光台。当衬底固定器固定作为抛光靶的衬底时，衬底固定器将衬底的抛光靶表面推向抛光垫。固定环形成在衬底固定器的固定表面上，对应于衬底的周边。固定环具有形成在它的表面上与抛光垫接触的树脂部分，以及固定树脂部分并由比所述树脂部分有更高机械强度的材料制成环行树脂固定部分。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供