用于原子力显微镜的样品台、测试系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110935646.9
IPC分类号：G01Q60/24
申请日期：
2021-08-16
申请人：
深圳先进技术研究院;中国科学院深圳理工大学（筹）

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于原子力显微镜的样品台、测试系统
申请号	CN202110935646.9	申请日期	2021-08-16
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-02	公开/公告号	CN113588990A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;2;4查看分类表>
申请人	深圳先进技术研究院;中国科学院深圳理工大学（筹）	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳先进技术研究院,中国科学院深圳理工大学（筹）	当前权利人	深圳先进技术研究院,中国科学院深圳理工大学（筹）
发明人	郑雪;杨春雷;明文杰;刘正浩;李江宇
代理机构	深圳市铭粤知识产权代理有限公司	代理人	孙伟峰;刘燚圣

摘要

本发明公开了一种用于原子力显微镜的样品台、测试系统。该样品台包括：底座，用于安装于原子力显微镜的载物台上；样品基座，设置于所述底座上，所述样品基座的背向所述底座的承载面用于放置待测样品，且所述样品基座上开设有至少两个安装孔，所述安装孔的一端穿过所述承载面；至少两个电极，所述电极设置于所述安装孔中，且所述电极的靠近承载面的电极顶端用于电连接所述待测样品的表面电极，所述电极的与所述电极顶端相对的电极底端用于电连接外部线路。在不改变原子力显微镜成像系统的基础上，对样品台进行改造，由于不需要通过焊接来引出表面电极，不会造成表面凹凸不平，且不采用夹紧方式引出，不会损坏样品。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供