载物盘配重块调整装置及其使用方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011577764.9
IPC分类号：B24B37/005;B24B37/30;B24B37/34;B24B49/10;B24B49/12;B24B47/00
申请日期：
2020-12-28
申请人：
江苏集萃精凯高端装备技术有限公司

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著录项信息

专利名称	载物盘配重块调整装置及其使用方法
申请号	CN202011577764.9	申请日期	2020-12-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-30	公开/公告号	CN112720245A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/005 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/005 研磨机床或装置的控制装置〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;0;5;;;B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;4;9;/;1;0;;;B;2;4;B;4;9;/;1;2;;;B;2;4;B;4;7;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏集萃精凯高端装备技术有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山开发区前进东路科技广场大楼3楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏集萃精凯高端装备技术有限公司	当前权利人	江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
发明人	董志刚
代理机构	苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	杨林洁

摘要

本发明提供了一种载物盘配重块调整装置，所述载物盘配重块调整装置包括载物盘、固定在所述载物盘上的基座、设置在所述基座上的圆环状光栅尺、至少两个设置在所述基座上的配重块调整组件、至少两个涡电流传感器，所述配重块调整组件包括立柱、被所述立柱贯穿的配重块、用以驱动所述立柱移动位置的驱动组件。本发明的载物盘配重块调整装置和载物盘配重块调整装置的使用方法，可以实现对基片的厚度和平行度的测量和调整，减少人工干预，调整效率高、效果好，实现基片的高面型精度的加工要求。

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