一种扫描电子显微镜

发明专利有效专利

申请号：
CN202010404520.4
IPC分类号：H01J37/28;H01J37/244
申请日期：
2020-05-13
申请人：
聚束科技（北京）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种扫描电子显微镜
申请号	CN202010404520.4	申请日期	2020-05-13
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-19	公开/公告号	CN113675061A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/28 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/26 电子或离子显微镜；电子或离子衍射管〔2〕 H01J37/28 带有扫描射束的	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;8;;;H;0;1;J;3;7;/;2;4;4查看分类表>
申请人	聚束科技（北京）有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区永昌北路3号3幢8101-A单元变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	聚束科技（北京）有限公司	当前权利人	聚束科技（北京）有限公司
发明人	刘莎;何伟
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子。本发明反射器实现了反射样品上产生的不同角度散射的光子到光子检测器上，光子检测器收集光子的范围大，效率高。

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