基于多层加工技术的微针制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200610025467.7
IPC分类号：B29C43/02;B29C43/36;B29C33/38
申请日期：
2006-04-06
申请人：
上海交通大学

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著录项信息

专利名称	基于多层加工技术的微针制备方法
申请号	CN200610025467.7	申请日期	2006-04-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-11-22	公开/公告号	CN1864976
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B29C43/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B29 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工 B29C 塑料的成型或连接；塑性状态材料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整（制作预型件入B29B 11/00；通过将原本不相连接的层结合成为各层连在一起的产品来制造层状产品入B32B 7/00至B32B 41/00）〔4〕 B29C43/00 压力成型，即施加外部压力使造型材料流动；所用的设备〔4，6，2006.01〕 B29C43/02 定长的制品，即不连续的制品〔4〕	IPC分类号	B;2;9;C;4;3;/;0;2;;;B;2;9;C;4;3;/;3;6;;;B;2;9;C;3;3;/;3;8查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	朱军;贾书海;陈迪;刘景全
代理机构	上海交达专利事务所	代理人	王锡麟;王桂忠

摘要

一种微细加工技术领域的基于多层加工技术的微针制备方法，步骤为：1)沉积钛薄膜，并作氧化处理；2)甩SU-8光刻胶，前烘好后进行曝光，中烘、显影、电镀及机械研磨与抛光，得到第一层所需厚度的金属结构；3)抛光后的表面作金属活化处理；4)重复第2)与第3)步直至甩最后一层光刻胶，最后一层光刻胶完成前烘、曝光、中烘、显影后进行的是电铸，完成电铸后去胶得到供模压用的金属模具；5)金属模具进行聚合物热压复制；6)聚合物背部切薄后脱模得到通孔的微针。本发明不仅能实现低成本、批量化的微针加工，而且适宜加工的材料范围更为广泛，只需调整各层的外径偏差与层数就可得到不同阶梯侧面与高度的微针结构。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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