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曝光机

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420439518.0
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2014-08-06
  • 申请人:
    叙丰企业股份有限公司
著录项信息
专利名称曝光机
申请号CN201420439518.0申请日期2014-08-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人叙丰企业股份有限公司申请人地址
中国台湾桃园县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人叙丰企业股份有限公司当前权利人叙丰企业股份有限公司
发明人周坤麟;何立克
代理机构北京市浩天知识产权代理事务所代理人宋菲;刘云贵
摘要
本实用新型公开了一种曝光机,其机箱具有控制器,可动发光机台具有发光源及移动装置,第一感光基板升降机台位于两底片固定机台之间,两感光基板搬移机台分别在感光基板接收机台及第一感光基板升降机台之间搬移感光基板,及在第一感光基板升降机台及感光基板退出机台之间搬移感光基板,发光源设于移动装置并借由反射镜反射光线至第一感光基板升降机台上的感光基板。借此,本实用新型的曝光机可自动对感光基板的正面与反面曝光且可连续放置感光基板以进行曝光。

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