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高掺杂BaTiO3:Fe多铁薄膜材料及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610029831.0
  • IPC分类号:C23C18/16;H01F41/22;H01F41/24
  • 申请日期:
    2016-01-12
  • 申请人:
    河南大学
著录项信息
专利名称高掺杂BaTiO3:Fe多铁薄膜材料及其制备方法
申请号CN201610029831.0申请日期2016-01-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2016-05-11公开/公告号CN105568265A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/16IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;1;6;;;H;0;1;F;4;1;/;2;2;;;H;0;1;F;4;1;/;2;4查看分类表>
申请人河南大学申请人地址
河南省开封市明伦街85号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河南大学当前权利人河南大学
发明人田建军;高惠平;田军锋;范素娟;秦勉;贾彩虹;郑海务;张伟风
代理机构湖北武汉永嘉专利代理有限公司代理人崔友明
摘要
本发明涉及一种高Fe含量掺杂BaTiO3多铁薄膜材料及其制备方法,其分子式为BaTi1‑xFexO3,x为掺杂成分的原子比,x=0.01~0.4,其制备方法,包括有如下依次步骤:1)前驱体制备;2)衬底清洗预处理;3)高掺杂BaTiO3:Fe多铁薄膜的制备:将步骤1)制得的高掺杂BaTiO3:Fe溶胶前驱体旋涂于步骤2)所述的衬底上,然后对其进行阶梯退火;4)多次重复步骤3)的涂胶、退火过程,得到需要厚度的薄膜样品。本发明的前驱体溶液澄清透明,能够长时间存放;所生长的薄膜表面均匀致密,结晶性能好,无杂相,且生成的薄膜厚度可控性好,单向性高;薄膜材料在室温下具有较好的铁电和铁磁性。

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