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制作环烯烃类聚合物微流控芯片中微纳结构的软压印方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310674847.3
  • IPC分类号:B29C59/02;B01L3/00
  • 申请日期:
    2013-12-11
  • 申请人:
    中国科学院深圳先进技术研究院
著录项信息
专利名称制作环烯烃类聚合物微流控芯片中微纳结构的软压印方法
申请号CN201310674847.3申请日期2013-12-11
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2015-06-17公开/公告号CN104708800A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B29C59/02IPC分类号B;2;9;C;5;9;/;0;2;;;B;0;1;L;3;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院深圳先进技术研究院申请人地址
广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院深圳先进技术研究院当前权利人中国科学院深圳先进技术研究院
发明人张宝月;陈艳
代理机构广州三环专利代理有限公司代理人郝传鑫;熊永强
摘要
一种制作环烯烃类聚合物微流控芯片中微纳结构的软压印方法,其至少包括如下步骤制作硬质模板,所述硬质模板的一侧形成第一压印图形;在所述硬质模板的第一压印图形一侧涂覆液态的聚二甲基硅氧烷,烘烤并固化所述液体聚二甲基硅氧烷得到聚二甲基硅氧烷,将固化的聚二甲基硅氧烷与所述硬质模板分离,得到软模板,所述软模板具有与第一压印图形互补的第二压印图形;以及在所述软模板上对热塑性材料进行热压印,从而得到具有第一压印图形的微流控芯片。本发明提供的制作环烯烃类聚合物微流控芯片中微纳结构的软压印方法,具有制作价格低廉、精度高、周期短、工序简单、易于控制且可以快速批量制备等优点,满足了使用要求。

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