光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201210206743.5
IPC分类号：G02B7/00;G03F7/20
申请日期：
2012-06-21
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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专利名称	光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置
申请号	CN201210206743.5	申请日期	2012-06-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-03	公开/公告号	CN102707404A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B7/00 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接	IPC分类号	G;0;2;B;7;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	赵磊;巩岩;彭海峰;于新峰
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所	代理人	南小平

摘要

光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学元件X、Y、θZ三自由度高精度调整问题，提出一种基于3-RRR平面机构的光学元件柔性微动调整装置，本发明光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，包括镜框、三个驱动器和两个电容传感器；三个驱动器和两个电容传感器分别固定在镜框上；所述镜框为一体化结构由镜框内环、镜框外环和三个运动支链组成；所述每个运动支链均由三个柔性铰链、第一连杆和第二连杆组成，所述运动支链的外侧与镜框外环相连，运动支链的内侧与镜框内环相连，三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布；该装置适用于深紫外投影物镜中光学透镜的微动调整。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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