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一种光可调与波分复用集成结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202111007852.X
  • IPC分类号:G02B6/293
  • 申请日期:
    2021-08-30
  • 申请人:
    湖南工学院;中南大学
著录项信息
专利名称一种光可调与波分复用集成结构
申请号CN202111007852.X申请日期2021-08-30
法律状态公开申报国家暂无
公开/公告日2021-11-30公开/公告号CN113721324A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/293IPC分类号G;0;2;B;6;/;2;9;3查看分类表>
申请人湖南工学院;中南大学申请人地址
湖南省衡阳市珠晖区衡花路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湖南工学院,中南大学当前权利人湖南工学院,中南大学
发明人肖志信;郑煜
代理机构长沙启昊知识产权代理事务所(普通合伙)代理人谢珍贵
摘要
本申请公开了一种光可调与波分复用集成结构,该结构包括:光可调与波分复用集成结构由SOI晶圆加工而成,SOI晶圆包括基底硅、埋氧层和器件层,其中,在器件层加工出如下结构:刻蚀衍射光栅,用于将光进行衍射后输出,其中,经刻蚀衍射光栅后的不同波长的光在平板波导中获得不同的相位延迟,并聚焦在不同的输出波导位置;可调光衰减结构,用于对来自刻蚀衍射光栅的光进行调节;热隔离槽,在刻蚀衍射光栅和可调光衰减结构之间,用于进行对刻蚀衍射光栅和可调光衰减结构进行热隔离。通过本申请解决了现有技术中光波分复用所存在的问题,从而在同一衬底材料上实现光功率连续可调和不同波长的光进行合束。

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