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直线电机驱动的气悬浮运动平台

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010127505.6
  • IPC分类号:B23Q1/25
  • 申请日期:
    2010-03-19
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第二研究所
著录项信息
专利名称直线电机驱动的气悬浮运动平台
申请号CN201010127505.6申请日期2010-03-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-08-18公开/公告号CN101804568A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23Q1/25IPC分类号B;2;3;Q;1;/;2;5查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第二研究所申请人地址
山西省太原市和平南路115号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第二研究所当前权利人中国电子科技集团公司第二研究所
发明人狄希远;董永谦;张志耀;张燕;王彩萍;田芳;吕琴红;白璐;赵喜清;焦子健;杨卫;王晓雷
代理机构山西科贝律师事务所代理人张乐中
摘要
本发明公开了一种直线电机驱动的气悬浮运动平台,解决了现有运动平台存在的结构刚度低,动态响应慢的问题。包括纵截面为山字形的花岗岩基座(1),在左、中、右三个承重台上方设置有Y轴运动平台(5),在Y轴运动平台(5)的下表面的左、中、右位置均分别固定设置的Y轴承重气垫(8),在中承重台(3)的左侧面固定设置有第一Y轴直线电机(9),在第一Y轴直线电机(9)的动子与Y轴运动平台(5)固定连接,并设置有第一Y轴光栅读数头(15),在中承重台(3)的右侧面固定设置有第二Y轴直线电机(10),第二Y轴直线电机(10)的动子与Y轴运动平台(5)固定连接,本发明采用直线电机驱动,气悬浮平台结构,结构简单,性价比高。

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