飞秒倍频激光直写系统及微加工方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03150511.2
IPC分类号：B23K26/36;H01S3/00
申请日期：
2003-08-22
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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专利名称	飞秒倍频激光直写系统及微加工方法
申请号	CN03150511.2	申请日期	2003-08-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-05-05	公开/公告号	CN1493429
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/36 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;;;H;0;1;S;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	周常河;孙晓慧
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种飞秒倍频激光直写系统及微加工方法，该直写系统包括激光器、反射镜、聚焦透镜、高精度二维移动平台和计算机，其特征在于所述的激光器是钛宝石锁模激光器，在激光器和反射镜之间的光路上还设有聚焦透镜、BBO倍频晶体、聚焦透镜、滤光片，该滤光片仅让倍频光沿光路输出照射在高精度二维移动平台的待加工样品表面涂敷的光刻胶。本发明的特点是利用激光器发出的低功率飞秒倍频激光进行直写，与光刻方法相结合进行微加工，该系统不仅结构简易、成本低、性能稳定，而且光刻的边缘清晰、分辨率高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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