用于间接控制拉晶直径的测量装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020738851.7
IPC分类号：G01B11/08;G01B5/08
申请日期：
2020-05-07
申请人：
宁夏银和新能源科技有限公司

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著录项信息

专利名称	用于间接控制拉晶直径的测量装置
申请号	CN202020738851.7	申请日期	2020-05-07
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/08 用于计量直径	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;8;;;G;0;1;B;5;/;0;8查看分类表>
申请人	宁夏银和新能源科技有限公司	申请人地址	宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司	当前权利人	宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
发明人	梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之
代理机构	宁夏合天律师事务所	代理人	郑重

摘要

本实用新型提供一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，包括生产状态影像获取组件、影像显示组件及测量组件，生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，影像显示组件电性连接生产状态影像获取组件，测量组件安装于影像显示组件上，用于通过测量，并从影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。该装置解决了现有技术中存在的拉制大直径晶棒时或由于设计缺陷，通过测径仪无法直径获取拉晶直径的技术问题。实现精准控制拉晶直径，防止拉晶直径过大造成原料浪费，或者拉晶直径过小导致晶棒报废或降级。同时，可显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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