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晶圆表面变量的高产量映射

发明专利无效专利

申请号：
CN200810135874.2
IPC分类号：G01N21/958;G06T7/00;H01L21/66;G01B11/00
申请日期：
2008-07-16
申请人：
以色列商·应用材料以色列公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	晶圆表面变量的高产量映射
申请号	CN200810135874.2	申请日期	2008-07-16
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-01-20	公开/公告号	CN101629913
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/958 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/958 检测透明材料〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;8;;;G;0;6;T;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	以色列商·应用材料以色列公司	申请人地址	以色列雷霍沃特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	以色列商·应用材料以色列公司	当前权利人	以色列商·应用材料以色列公司
发明人	尹政镐;埃弗拉·罗森曼;埃瑞·拉维德;多伦·梅舒拉切;加迪·格林伯格;科比·卡恩;耶胡达·科恩;西蒙·利瓦伊
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国

摘要

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