用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200510092652.3
IPC分类号：G06F17/50
申请日期：
2005-08-19
申请人：
国际商业机器公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统
申请号	CN200510092652.3	申请日期	2005-08-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-02-22	公开/公告号	CN1737808
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F17/50 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F17/00 特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法〔6〕 G06F17/50 计算机辅助设计（静态存储的测试电路的设计入G11C 29/54）〔6，8〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;7;/;5;0查看分类表>
申请人	国际商业机器公司	申请人地址	开曼群岛大开曼岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格芯公司	当前权利人	格芯公司
发明人	理查德·G.·波达;阿尔弗雷德·德格博特斯;布赖恩·T.·丹顿;肯尼思·J.·福特斯;桑加·海格德;罗伯特·J.·米尔恩;萨米尔·T.·史卡尔加;左国钢
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李春晖

摘要

本发明涉及用于掩模版的智能自动化管理的方法和系统，具体提供了一种控制制造系统的方法、系统以及实现该方法的程序存储设备，其中，该方法包括：提供要在加工设备上处理的多个工件，其中，所述多个工件位于在所述加工设备之前的处理站；在工件到达加工设备之前，根据与所述多个工件相关的特性对所述加工设备确定辅助设备的分配需求；并在所述工件到达加工设备之前根据所述分配需求向所述加工设备发送辅助设备。根据本发明的一个实施例，所述加工设备包括光刻系统，所述辅助设备包括掩模版，所述多个工具包括半导体衬底。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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