用于带电粒子显微镜的方法及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202010097548.8
IPC分类号：H01J37/28;H01J37/244;G01Q30/02;G01Q30/04
申请日期：
2016-03-24
申请人：
科磊股份有限公司

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著录项信息

专利名称	用于带电粒子显微镜的方法及系统
申请号	CN202010097548.8	申请日期	2016-03-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-09	公开/公告号	CN111261481A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/28 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/26 电子或离子显微镜；电子或离子衍射管〔2〕 H01J37/28 带有扫描射束的	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;8;;;H;0;1;J;3;7;/;2;4;4;;;G;0;1;Q;3;0;/;0;2;;;G;0;1;Q;3;0;/;0;4查看分类表>
申请人	科磊股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科磊股份有限公司	当前权利人	科磊股份有限公司
发明人	D·马斯纳盖蒂;G·托特;D·特雷斯;R·博特罗;G·H·陈;R·克尼彭迈耶
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	刘丽楠

摘要

本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。

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