加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

蚀刻剂、蚀刻方法和蚀刻剂制备液

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480038367.0
  • IPC分类号:H01L21/308;C23F1/38;H01L21/306
  • 申请日期:
    2014-07-03
  • 申请人:
    和光纯药工业株式会社
著录项信息
专利名称蚀刻剂、蚀刻方法和蚀刻剂制备液
申请号CN201480038367.0申请日期2014-07-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-03-02公开/公告号CN105378901A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/308
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;8;;;C;2;3;F;1;/;3;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6查看分类表>
申请人和光纯药工业株式会社申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富士胶片电子材料有限公司当前权利人富士胶片电子材料有限公司
发明人横沟贵宏;鹤本浩之;柿泽政彦
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人庞东成;褚瑶杨
摘要
本发明的课题在于提供一种半导体基板上的钛系金属用蚀刻剂和蚀刻方法、以及用于与过氧化氢混合使用的蚀刻剂制备液,所述钛系金属用蚀刻剂即使在用于具有钛系金属和金属铜或铜合金的半导体基板的情况下,也可抑制过氧化氢的分解,溶液寿命长,控制蚀刻剂中的过氧化氢的浓度的必要性小。本发明涉及半导体基板上的钛系金属用蚀刻剂、以使用该蚀刻剂为特征的蚀刻方法、以及用于与过氧化氢混合使用的蚀刻剂制备液,该半导体基板具有钛系金属和位于该钛系金属的上部的金属铜或铜合金,该钛系金属用蚀刻剂为至少包含(A)过氧化氢、(B)结构中具有氮原子的膦酸系螯合剂、(C)碱金属氢氧化物、以及(D)具有至少1个羟基和至少3个羧基的有机酸的水溶液。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供