多层分划板

发明专利无效专利

申请号：
CN200380100157.1
IPC分类号：--
申请日期：
2003-10-30
申请人：
硅系统制造有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	多层分划板
申请号	CN200380100157.1	申请日期	2003-10-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-10-19	公开/公告号	CN1685284
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	硅系统制造有限公司	申请人地址	新加坡第一帕舍里斯大道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	硅系统制造有限公司	当前权利人	硅系统制造有限公司
发明人	E·布歇;S·科博;C·Y·L·王
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	沙捷;彭益群

摘要

分划板100包括两个或多个图像图案用于集成电路的不同层，每一图像图案在分离的图像区110－120中。这些图像层用于相同的集成电路的生产。通过在相同的分划板上设置多个图像层，只需生产很少的分划板，可以更便宜地制造原版电路。类似地，减少的分划板组可以用于有有限的电路操作的情形。如果需要更换任一或分划板，那么，更换组也更便宜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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