将表面层转移到腔的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980084414.8
IPC分类号：H01L41/312
申请日期：
2019-12-12
申请人：
索泰克公司

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著录项信息

专利名称	将表面层转移到腔的方法
申请号	CN201980084414.8	申请日期	2019-12-12
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113228319A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/312 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/083 和H01L 41/087优先于H01L 41/09至H01L 41/113各组。〔6〕 H01L41/22 专门适用于组装、制造或处理压电或电致伸缩器件或其部件的方法或设备〔2，2013.01〕 H01L41/31 施加压电或电致伸缩部件或本体到一个电子元件或另一个基底上〔2013.01〕 H01L41/312 通过层压或键合压电或电致伸缩本体〔2013.01〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;3;1;2查看分类表>
申请人	索泰克公司	申请人地址	法国伯尔宁变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	索泰克公司	当前权利人	索泰克公司
发明人	布鲁诺·吉瑟兰
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	游雷;王小东

摘要

本发明涉及一种将表面层(10)转移到包含腔(23)的载体基底(20)的方法，所述方法包括：‑提供供体基底，‑提供具有第一面并且包括腔(23)的载体基底(20)，每个腔在所述第一面处开口并且具有底部和周壁，‑在所述腔(23)的至少一者中创建至少一个临时柱状物(30)，所述柱状物(30)具有与载体a基底(20)的第一面共面的上表面，‑在所述载体基底的所述第一面处接合所述供体基底和所述载体基底(20)，‑减薄所述供体基底，以形成所述表面层(10)，‑移除所述至少一个临时柱状物(30)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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