一种高分辨宽束离子注入机均匀性调节装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201410645011.5
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/04;H01J37/147
申请日期：
2014-11-07
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高分辨宽束离子注入机均匀性调节装置
申请号	CN201410645011.5	申请日期	2014-11-07
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-05-11	公开/公告号	CN105575750A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;0;4;;;H;0;1;J;3;7;/;1;4;7查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	张进学
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种高分辨率宽带束离子注入机均匀性调节装置。为了解决宽带束均匀性难以精确控制的问题，所述调节装置包括分析光栏、宽束平行透镜、多磁极调节机构和垂直扫描基片；所述宽束平行透镜设置在分析光栏的宽带离子流出口处，宽带离子流以一定张角进入宽束平行透镜；所述宽束平行透镜出口处设有调节通过束流偏转角度的高分辨率多磁极调节机构，以改变离子束到达垂直扫描基片处束流水平密度分布，调节离子束水平方向束流分布的均匀性；所述垂直扫描基片设置在多磁极调节机构的出口处，以在垂直方向对束流匀速扫描，保证束流垂直方向的均匀性。本发明控制简单，调节分辨率高，能很好满足高性能宽带离子注入机的束均匀性调节要求。

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