一种抑制微波部件镀银层表面二次电子发射系数的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310264149.6
IPC分类号：C23F17/00;C25F3/04;C23C14/35
申请日期：
2013-06-27
申请人：
西安空间无线电技术研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种抑制微波部件镀银层表面二次电子发射系数的方法
申请号	CN201310264149.6	申请日期	2013-06-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-25	公开/公告号	CN103320799A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F17/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F17/00 包括C23大类中所列入的至少一种工艺及C21D、C22F小类或C25大类中所列入的至少一种工艺之多步法金属材料表面处理工艺（C23C 28/00优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;7;/;0;0;;;C;2;5;F;3;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	西安空间无线电技术研究所	申请人地址	陕西省西安市长安区西街150号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安空间无线电技术研究所	当前权利人	西安空间无线电技术研究所
发明人	胡天存;崔万照;张洪太;贺永宁
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	安丽

摘要

本发明涉及一种抑制微波部件镀银层表面二次电子发射系数的方法，特别涉及一种通过电化学腐蚀方法来抑制铝合金镀银表面的二次电子发射系数的方法，属于微放电技术领域。将微波部件内表面先用酸溶液进行阳极氧化处理，在微波部件内表面形成多孔结构，然后利用化学溶液腐蚀的方法增大孔的口径，最后在微波部件内表面溅射沉积金或银等导电性好的金属，使得微波部件内表面既具有低二次电子发射系数，又具有良好的导电性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供