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旋转靶材的绑定加热装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202121236441.3
  • IPC分类号:C23C14/35;B22D19/04
  • 申请日期:
    2021-05-31
  • 申请人:
    广州市尤特新材料有限公司
著录项信息
专利名称旋转靶材的绑定加热装置
申请号CN202121236441.3申请日期2021-05-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;B;2;2;D;1;9;/;0;4查看分类表>
申请人广州市尤特新材料有限公司申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广州市尤特新材料有限公司当前权利人广州市尤特新材料有限公司
发明人雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳
代理机构广州永华专利代理有限公司代理人唐立辉
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置。加热装置设有内加热结构和外加热结构:内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量,在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温;外加热结构为多节环状加热罩,各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材,外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部,外加热结构与安装底座一起构成全密封结构,将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作,使得背管内外温度处于预设差值范围内,如此则待绑定的靶管内外温度保持一致,减少外管靶材崩裂的几率。

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