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半导体器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110031550.6
  • IPC分类号:H01L23/525
  • 申请日期:
    2011-01-29
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称半导体器件
申请号CN201110031550.6申请日期2011-01-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-08-01公开/公告号CN102623431A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/525IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;5;2;5查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3# 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人闫江
代理机构北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙)代理人陈红
摘要
一种半导体器件,电可编程熔丝的阳极接触位于绝缘层正上方,阴极接触并不位于绝缘层正上方,因此熔丝线路与硅衬底之间并无绝缘层的阻挡,熔丝线路更容易产生电迁移,这使电可编程熔丝具有更好的可编程能力,同时,绝缘层可以阻挡扩散至硅衬底的热量;另外,仅通过调整电可编程熔丝在版图中位置,即可获得本发明的结构,并未增加工艺步骤和掩模板数目,节省了生产成本。

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