一种用于硅片清洗的机械手结构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721066163.5
IPC分类号：B25J9/00
申请日期：
2017-08-24
申请人：
天津市环欧半导体材料技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于硅片清洗的机械手结构
申请号	CN201721066163.5	申请日期	2017-08-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J9/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J9/00 程序控制机械手	IPC分类号	B;2;5;J;9;/;0;0查看分类表>
申请人	天津市环欧半导体材料技术有限公司	申请人地址	天津市西青区华苑产业园区（环外）海泰东路12号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津市环欧半导体材料技术有限公司	当前权利人	天津市环欧半导体材料技术有限公司
发明人	古元甲;刘晓伟;范猛;李伟;刘沛然;孙昊;孙毅;田志民;王少刚;秦焱泽;辛超
代理机构	天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	栾志超

摘要

本实用新型提供一种用于硅片清洗的机械手结构，包括顶盖，支架和机械手支杆，顶盖上设置机械手支杆孔，机械手支杆穿过机械手支杆孔伸出顶盖的顶部，支架设置于顶盖的底部，支架与顶盖通过支架固定件固定连接，支架的底部设置导杆，导杆的截面为圆形。本实用新型的有益效果是机械手在抓取硅片的过程中，顶盖与槽体内的液面不接触，避免了由于机械手顶盖偏低，机械手顶盖与槽体液面接触，机械手顶盖会滞留大量的药液残留的问题，通过设置机械手支杆与导杆的截面均设置为圆形，方便液体滴落，在机械手抓取的过程中由于圆形的结构导致滞留水分少，有效的保证清洗质量和产品的品质。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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