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双源ECR等离子体源装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201310303182.5
IPC分类号：H05H1/46
申请日期：
2013-07-18
申请人：
北京东方计量测试研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	双源ECR等离子体源装置
申请号	CN201310303182.5	申请日期	2013-07-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-11-27	公开/公告号	CN103415134A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6查看分类表>
申请人	北京东方计量测试研究所	申请人地址	北京市海淀区知春路82号院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京东方计量测试研究所	当前权利人	北京东方计量测试研究所
发明人	张书锋;宋瑞海;张明志;贾军伟;柴昊
代理机构	北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司	代理人	吴小灿

摘要

双源ECR等离子体源装置，从而为空间等离子体探测器提供准确可靠的数据，保证量值传递的准确，保证探测器在型号上的成功应用。其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。

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