装配式定电极的电容压力传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201711325860.2
IPC分类号：G01L9/12;G01L9/00
申请日期：
2017-12-13
申请人：
沈阳市传感技术研究所

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著录项信息

专利名称	装配式定电极的电容压力传感器
申请号	CN201711325860.2	申请日期	2017-12-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-03-27	公开/公告号	CN107843379A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L9/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L9/00 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L 15/00） G01L9/12 利用电容量变化的	IPC分类号	G;0;1;L;9;/;1;2;;;G;0;1;L;9;/;0;0查看分类表>
申请人	沈阳市传感技术研究所	申请人地址	辽宁省沈阳市大东区万柳塘路22-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	沈阳市传感技术研究所	当前权利人	沈阳市传感技术研究所
发明人	孙晓茜;段磊;段祥照
代理机构	沈阳科威专利代理有限责任公司	代理人	刁佩德

摘要

一种装配式定电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的配件多，陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，非线性大，动电极形变与定电极面形不匹配等问题。其蓝宝石单晶制作的定电极绝缘体利用弹性定位器固定支撑在带盖夹持压环空腔内居中位置，采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极，有依托的压接在定电极绝缘体底部的环形平面与带引压口的支座的环形平面之间，通过三波镀金压簧施压，使双面镀贵金属层的薄膜动电极与定电极绝缘体之间紧密接触。其结构简单，设计合理，制作容易，生产效率高，使用可靠，长时间不用调零点，减少了吸气量、放气量，使漏率大大降低，真空度可以长久得到保持，显著提高测量的稳定性和测量精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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