加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种球形零件批量等离子体基离子注入方法及其装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810137130.4
  • IPC分类号:C23C14/32
  • 申请日期:
    2008-09-17
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称一种球形零件批量等离子体基离子注入方法及其装置
申请号CN200810137130.4申请日期2008-09-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-01-28公开/公告号CN101353777
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/32IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;2查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人马欣新;唐光泽
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所代理人岳泉清
摘要
一种球形零件批量等离子体基离子注入方法及其装置,它涉及一种球形零件等离子体基离子注入方法及其装置。针对转动工件的等离子体基离子注入装置和方法对球形零件进行等离子体基离子注入不均匀,无法实现同一批球形零件处理效果一致问题。方法是:将球形零件置于倾斜圆盘的环槽内,倾斜圆盘的转动通过驱动电机和传动装置控制,先停止驱动电机转动,开启高压脉冲电源,经高压脉冲电源延时后,对球形零件等离子体基离子注入,驱动电机和高压脉冲电源的启停保持同步切换;装置是:同步切换控制器通过一、二号电源给驱动电机和高压脉冲电源供电,驱动电机输出轴上固装有主动齿轮,主、从动齿轮啮合。本发明的装置和方法能对球形零件表面离子均匀注入。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供