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制程装置排水回收系统及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03107376.X
IPC分类号：B08B11/00;C02F1/00
申请日期：
2003-03-24
申请人：
力晶半导体股份有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	制程装置排水回收系统及方法
申请号	CN03107376.X	申请日期	2003-03-24
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2004-09-29	公开/公告号	CN1532006
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B11/00 专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;8;B;1;1;/;0;0;;;C;0;2;F;1;/;0;0查看分类表>
申请人	力晶半导体股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹科学工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	力晶半导体股份有限公司	当前权利人	力晶半导体股份有限公司
发明人	黄政忠;宋坤森
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	周国城

摘要

一种制程装置排水回收系统及方法，是利用导电度计检测制程排水的导电度，将不同导电度的制程排水排放至不同的管路中。再使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制分类回收水。然后依据回收水的特性应用于不同的用途上，以提升制程排水的再利用效率。

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