串接冷却的抛光转台及抛光转台冷却系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201810153961.4
IPC分类号：B24B55/02;B24B55/00;B24B37/10;H02K9/197
申请日期：
2018-02-22
申请人：
清华大学;天津华海清科机电科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	串接冷却的抛光转台及抛光转台冷却系统
申请号	CN201810153961.4	申请日期	2018-02-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-08-03	公开/公告号	CN108356708A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B55/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B55/00 用于磨床或抛光机的安全装置；配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件 B24B55/02 用于冷却磨削面的设备，包括送进冷却液装置（与磨轮结合的入B24D）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;5;5;/;0;2;;;B;2;4;B;5;5;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;1;0;;;H;0;2;K;9;/;1;9;7查看分类表>
申请人	清华大学;天津华海清科机电科技有限公司	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学,华海清科股份有限公司	当前权利人	清华大学,华海清科股份有限公司
发明人	赵德文;路新春;许振杰;王同庆
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种串接冷却的抛光转台及抛光转台冷却系统，所述串接冷却的抛光转台包括旋转部件、抛光盘、电机和冷却机构，抛光盘连接在旋转部件上，电机包括电机定子和电机转子，电机转子连接在旋转部件上，电机定子间隔开地设在电机转子的外侧以驱动旋转部件转动。冷却机构包括第一冷却通道和第二冷却通道，第一冷却通道形成在旋转部件内以对抛光盘冷却，第二冷却通道用于对电机定子冷却，在冷却液的流通方向上，第二冷却通道串联连接在第一冷却通道的下游。根据本发明实施例的串联冷却的抛光转台能够对电机定子，旋转部件及抛光盘均进行冷却，保证了电机及抛光盘的及时冷却，从而保证了抛光转台的晶圆抛光效果。

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