点测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022328697.9
IPC分类号：G01R31/28;G01R1/04
申请日期：
2020-10-19
申请人：
豪勉科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	点测装置
申请号	CN202022328697.9	申请日期	2020-10-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8;;;G;0;1;R;1;/;0;4查看分类表>
申请人	豪勉科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾台北市大同区承德路1段70号3楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	豪勉科技股份有限公司	当前权利人	豪勉科技股份有限公司
发明人	陈志伟;徐明达;陈正泰
代理机构	北京汇泽知识产权代理有限公司	代理人	关宇辰

摘要

本实用新型提供一种点测装置，其由下至上包括：平面运动部，旋转运动部及垂直运动部，该垂直运动部是由压电致动组件所组成，压电致动组件可通过施加电压产生Z轴方向的伸长或收缩的变形。承载盘装设在该垂直运动部的上方，通过所述压电致动组件的变形，该承载盘可以进行Z轴方向的上下运动，该点测针能够触碰到该承载盘上的待测组件。本实用新型将垂直运动部轻量化及小型化，减轻对下方装置的负重，且提高上下位移的速度，提高点测速度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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