一种温度可控的晶体生长装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022257631.5
IPC分类号：C30B35/00
申请日期：
2020-10-12
申请人：
上海御光新材料科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种温度可控的晶体生长装置
申请号	CN202022257631.5	申请日期	2020-10-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	上海御光新材料科技股份有限公司	申请人地址	上海市嘉定区城北路1355号C幢2楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海御光新材料科技股份有限公司	当前权利人	上海御光新材料科技股份有限公司
发明人	李中波
代理机构	上海浙晟知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	杨秀伟

摘要

本实用新型公开了一种温度可控的晶体生长装置，包括保温壳体，所述保温壳体的底部四角外壁均固定安装有支撑垫，所述保温壳体的内壁固定安装有生长壳体，所述生长壳体两端的两侧外壁均开设有第一凹槽，且第一凹槽的内壁均固定安装有竖直设置的电动导轨，所述电动导轨的外壁均滑动连接有电动滑块，且四个电动滑块之间固定安装有同一个支撑板。本实用新型中，该温度可控的晶体生长装置，通过设置有保温壳体和生长壳体，并在保温壳体一端的底部设置有抽气管，可以在抽气管外外接真空泵，由真空泵将保温壳体和生长壳体之间进行抽真空处理，进而保证了生长壳体内部的保温效果，以便提高装置的节能效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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